提要１．採用了微電子束式的汽化源。 才能止住高融點復合和鐵的氧化物物的鍍晶。２．蒸發器效率的抑制和膜厚的規范由晶體發振式膜厚計來退出３．在用的主泵為冷疑泵。４．操作合理保障體系為全被動式。
優點和缺點１．為達成出色的膜厚散播謠言，制定史詩裝備布置了汽化源和基鋼板的冶具。２．自動化束式蒸餾源採用了12點式坩堝，是以統一性負壓內才能鍍6種膜 ３．的基板收納架出水量為Φ75mm30片、Φ100mm20片、Φ150mmで9片。４．可以做好入射角±5°至少的鍍膜等等。５．正空槽里的防著板制做了夠朋分的事態，改換了起來倍增便捷性。６．最為必選零部件，實現供給充足了基鋼板清洗組織 和冷阱。
作用１．電級膜?無球膜２．剝離技術膜
